(1)安裝基面 安裝光柵位移傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗拙不平的機床床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床床身上。光柵尺定尺和動尺分別安裝在機床相對運動的兩個部件上，用千分表檢查機床工作臺主尺安裝面于導軌運動方向的平行度，要求達到平行度為 0.1mm以內。

(2)限位裝置 光柵位移傳感器全部裝完后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置以免在加工過程中滑尺抵觸觸犯到定尺兩端，從而損壞光柵尺，且應盡量選用超出機床加工尺寸 100mm左右的光柵尺，以留有運動余地。

(3)主尺安裝 將光柵尺 M4螺釘上在機床的中托板安裝面上，但不要上緊。把千分表固定在床身上，移動中托板(主尺與中托板同時移動)，用千分表丈量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度知足0.1mm/1000mm以內。 在安裝光柵主尺時應留意：在安裝定尺時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個定尺尺身中有支撐。

(4)滑尺的安裝 在安裝滑尺時，首先應保證滑尺的基面達到安裝要求，其安裝方法與定尺相似。調整滑尺使滑尺與定尺平行度保證在 0.1mm/1000mm以內，其滑尺與定尺的間隙控制在1mm～1.5mm之內。